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Overlay breakdown methodology on immersion scanner
浸没式扫描仪的叠加分解方法
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覆盖 计算机科学 扫描仪 沉浸式（数学） 限制 薄脆饼 计算机工程 算法 可靠性工程 分布式计算 人工智能 数学 材料科学 操作系统 纳米技术 工程类 机械工程 纯数学
网址
https://doi.org/10.1117/12.849245
DOI
10.1117/12.849245 doi
其它 期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者：Auguste Lam; François Pasqualini; Jean de Caunes; Maxime Gatefait
出版日期：2010-03-11
求助人
Raiden 在 2025-04-20 15:59:23 发布自广东，悬赏 20 积分
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