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标题
Swift heavy ion beam stimulated epitaxial recrystallization of Si/SiO2 heterostructure
Si/SiO2异质结构的快速重离子束外延再结晶
相关领域
材料科学 卢瑟福背散射光谱法 无定形固体 再结晶(地质) 外延 快速重离子 异质结 离子束 离子 辐照 结晶 分析化学(期刊) 大气温度范围 离子束混合 通量 光电子学 图层(电子) 结晶学 薄膜 离子束沉积 复合材料 化学工程 纳米技术 化学 工程类 生物 古生物学 量子力学 色谱法 核物理学 物理 气象学
网址
DOI
10.1016/j.matlet.2021.131153 doi
其它 期刊:Materials Letters
作者:Sourav Bhakta; Indra Sulania; Sunil Ojha; D. Kanjilal; Pratap K. Sahoo
出版日期:2021-10-28
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