Celebrating the 100th anniversary of the Stoney equation for film stress: Developments from polycrystalline steel strips to single crystal silicon wafers

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标题	Celebrating the 100th anniversary of the Stoney equation for film stress: Developments from polycrystalline steel strips to single crystal silicon wafers 庆祝Stoney薄膜应力方程100周年：从多晶钢带到单晶硅晶片的发展相关领域材料科学薄脆饼基质（水族馆）硅各向同性曲率复合材料压力（语言学）薄膜光学纳米技术光电子学几何学物理地质学哲学海洋学语言学数学
网址	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2008.07.014
DOI	10.1016/j.tsf.2008.07.014 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：G. C. A. M. Janssen; Mostafa Abdalla; Fred van Keulen; B. R. Pujada; B. van Venrooy 出版日期：2009-01-01
求助人	axlyjia 在 2024-07-24 22:52:37 发布自江苏，悬赏 10 积分
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