Compound mechanical and chemical-mechanical polishing processing technique for single-crystal silicon carbide

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标题	Compound mechanical and chemical-mechanical polishing processing technique for single-crystal silicon carbide 单晶碳化硅机械化学机械复合抛光工艺相关领域抛光化学机械平面化材料科学表面粗糙度碳化硅机械加工 Crystal（编程语言）表面光洁度碳化物复合材料冶金计算机科学程序设计语言
网址	https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2023.12.002
DOI	10.1016/j.precisioneng.2023.12.002 doi
其它	期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology 作者：Xinxing Ban; Zhuangzhi Tian; Jianhui Zhu; Tianxu Duan; Shaodong Zheng; et al 出版日期：2024-03-01
求助人	波波在 2024-09-20 16:00:11 发布自广东，悬赏 10 积分
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