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 Performance Enhancement of Self-Aligned Coplanar TFTs With ALD-IGZO Channels via Effective Doping From Interlayer Dielectric 利用层间介质有效掺杂提高ALD-IGZO沟道自对准共面薄膜晶体管的性能
相关领域
电介质
兴奋剂
材料科学
分析化学（期刊）
物理
光电子学
化学
有机化学
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期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Sung-Won Moon; Young-Ha Kwon; Nak-Jin Seong; Kyu-Jeong Choi; Sung-Min Yoon 出版日期：2023-07-01 |
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