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Room temperature bonding of GaN and diamond substrates via atomic layer
GaN与金刚石衬底的室温原子层键合
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期刊:Scripta Materialia 作者:Takashi Matsumae; Yuichi Kurashima; Hideki Takagi; Yusuke Shirayanagi; Shuichi Hiza; et al 出版日期:2022-07-01 |
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