Ultraflat single-crystal hexagonal boron nitride for wafer-scale integration of a 2D-compatible high-κ metal gate

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标题	Ultraflat single-crystal hexagonal boron nitride for wafer-scale integration of a 2D-compatible high-κ metal gate 用于二维兼容高κ金属栅极晶圆级集成的超扁平单晶六方氮化硼相关领域材料科学薄脆饼纳米技术单晶数码产品电介质光电子学蓝宝石化学气相沉积外延 Crystal（编程语言）结晶学电气工程化学光学计算机科学图层（电子）激光器程序设计语言物理工程类
网址	https://doi.org/10.1038/s41563-024-01968-z
DOI	10.1038/s41563-024-01968-z doi
其它	期刊：Nature Materials 作者：Yani Wang; Chao Zhao; Xin Gao; Liming Zheng; Jun Qian; et al 出版日期：2024-08-12
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