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High-power AlGaN deep-ultraviolet micro-light-emitting diode displays for maskless photolithography
用于无掩模光刻的大功率AlGaN深紫外微型发光二极管显示器
相关领域
光刻
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期刊:Nature Photonics 作者:Feng Feng; Yibo Liu; Ke Zhang; Hang Yang; Byung‐Ryool Hyun; et al 出版日期:2024-10-15 |
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