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标题
Fabrication, characterization, and CMP performance of dendritic mesoporous-silica composite particles with tunable pore sizes
可调孔径树枝状介孔二氧化硅复合粒子的制备、表征及CMP性能
相关领域
材料科学 多孔性 复合材料 介孔二氧化硅 表面粗糙度 复合数 介孔材料 化学机械平面化 弹性模量 化学工程 磨料 图层（电子） 化学 生物化学 工程类 催化作用
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092583881...
DOI
10.1016/j.jallcom.2018.08.173 doi
其它 期刊：Journal of Alloys and Compounds
作者：Ailian Chen; Hailiang Mu; Changzhi Zuo; Yang Chen
出版日期：2018-08-21
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火星上的糖豆 在 2024-11-26 08:55:12 发布自山西，悬赏 10 积分
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