Ultra-low loss SiN waveguide platform for integrated passive and active components for next generation photonic integrated circuits

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标题	Ultra-low loss SiN waveguide platform for integrated passive and active components for next generation photonic integrated circuits 用于下一代光子集成电路集成无源和有源元件的超低损耗SiN波导平台相关领域光电子学波导管材料科学光子集成电路谐振器堆积电子线路光子学激光器电子元件光学电子工程物理电气工程工程类核磁共振
网址	https://doi.org/10.1109/phosst.2016.8419223
DOI	10.1109/phosst.2016.8419223 doi
其它	期刊：作者：Daniel J. Blumenthal 出版日期：2016-07-01
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