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2D and 3D Metrology and Failure Analysis for High Bandwidth Memory Package by Xe and Ar Plasma-FIB
采用RST和ArPlasma-TSB的高带宽存储器封装的2D和3D计量和故障分析
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期刊:Proceedings - International Symposium for Testing and Failure Analysis 作者:Melissa Mullen; Mark McClendon; Adam A. Stokes; Xiaoting Gu; Pete Carleson 出版日期:2023-11-08 |
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