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 Coherent Fourier scatterometry: a holistic tool for inspection of isolated particles or defects on gratings 相干傅里叶散射测量：检查光栅上孤立粒子或缺陷的整体工具
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期刊：Applied Optics 作者：Anubhav Paul; Dmytro Kolenov; Thomas Scholte; Silvania F. Pereira 出版日期：2023-09-15 |
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