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标题
Study on the Performance of Amorphous IGZO TFT Thin-Film Transistor with Ti/Au Stacking as the Source/Drain
以Ti/Au堆叠为源/漏的非晶IGZO TFT薄膜晶体管的性能研究
相关领域
薄膜晶体管 材料科学 光电子学 无定形固体 氧化物薄膜晶体管 晶体管 阈值电压 退火(玻璃) 溅射沉积 电极 活动层 堆积 图层(电子) 溅射 薄膜 电气工程 电压 纳米技术 冶金 结晶学 物理化学 工程类 物理 化学 核磁共振
网址
DOI
10.1109/icsip57908.2023.10271065 doi
其它 期刊:
作者:Qingru Lu; Bing Li; Rui Chen; Xiaodong Huang
出版日期:2023-07-08
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