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Engineering Hf$_{\text{0.5}}$Zr$_{\text{0.5}}$O$_{\text{2}}$ Ferroelectric Tunnel Junctions With Amorphous WO$_{\textit{x}}$ Bottom Electrodes Achieving High Remanent Polarization and Record Low-Operating Voltage
具有非晶WO$_{\text{0.5}}$Zr$_{\text{0.5}}$O$_{\text{2}}$底部电极的铁电隧道结实现高剩余极化并记录低工作电压
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符号
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期刊:IEEE Transactions on Electron Devices 作者:Zefu Zhao; Yu-Rui Chen; Yun-Wen Chen; Jer-Fu Wang; Yifan Xing; et al 出版日期:2023-10-01 |
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