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Self-limiting oxidation of Si nanowires
硅纳米线的自限性氧化
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网址
https://doi.org/10.1116/1.586661
DOI
10.1116/1.586661 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena
作者：H. I. Liu; D. K. Biegelsen; N. M. Johnson; F. A. Ponce; R. F. W. Pease
出版日期：1993-11-01
求助人
cccxxx 在 2024-12-25 10:21:38 发布自四川，悬赏 10 积分
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