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 Heteroepitaxy of ε-Ga2O3 thin films grown on AlN/Si(1 1 1) templates by metal–organic chemical vapor deposition 金属——有机化学气相沉积AlN/Si（1 1 1）模板上ε-Ga2O3薄膜的异质外延
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期刊：Applied Surface Science 作者：Weiqu Chen; Zimin Chen; Zeqi Li; Zeyuan Fei; Yanli Pei; et al 出版日期：2021-12-28 |
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