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 Impact of the Crystal Structure of Interlayer on the Properties of Zr‐Doped Hafnia‐Based Ferroelectric Capacitor 层间晶体结构对掺锆铪基铁电电容器性能的影响
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期刊：physica status solidi (a) 作者：I.-W. Park; Y. Choi; Changhwan Shin 出版日期：2024-02-14 |
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