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 Spark assisted chemical engraving (SACE) in microfactory 微型工厂中的火花辅助化学雕刻（SACE）
相关领域
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期刊：Journal of micromechanics and microengineering 作者：Rolf Wüthrich; Kazuhiro Fujisaki; Ph Couthy; Lucas A. Hof; Hannes Bleuler 出版日期：2005-09-06 |
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