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Sputtering of tungsten, tungsten oxide, and tungsten-carbon mixed layers by deuterium ions in the threshold energy region
氘离子在阈值能区溅射钨、氧化钨和钨-碳混合层
相关领域
溅射
钨
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期刊:Technical Physics 作者:M. I. Gusev; S. N. Korshunov; А. Л. Суворов; N. E. Lazarev 出版日期:1999-09-01 |
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