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 Insights into abnormal grain growth in copper thin films for reduced electrical resistivity: A quantitative multi-order-parameter phase-field study under finite element framework 降低电阻率铜薄膜中晶粒异常生长的研究：有限元框架下多阶参数相场定量研究
相关领域
材料科学
电阻率和电导率
铜
薄膜
微观结构
微电子
晶界
晶粒生长
各向异性
相（物质）
粒度
冶金
凝聚态物理
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纳米技术
光学
电气工程
物理
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有机化学
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期刊：Acta Materialia 作者：Wei Peng; Jianbao Gao; Tiwen Lu; Binhan Sun; Xiancheng Zhang; et al 出版日期：2023-08-09 |
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