Effect of polishing pad with holes in electro-chemical mechanical planarization

求助中

文献求助详情

标题	Effect of polishing pad with holes in electro-chemical mechanical planarization 带孔抛光垫在电化学机械平坦化中的作用相关领域化学机械平面化抛光铜材料科学薄脆饼磨损（机械）电解质电介质复合材料图层（电子）钨阳极冶金电极光电子学化学物理化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.mee.2008.07.006
DOI	10.1016/j.mee.2008.07.006 doi
其它	期刊：Microelectronic Engineering 作者：Sukhoon Jeong; Sangjik Lee; Haedo Jeong 出版日期：2008-07-23
求助人	Tao 在 2025-02-11 15:56:42 发布自上海，悬赏 10 积分
下载	暂无链接，等待应助者上传
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

求助 / 应助时间线

现在，等待您上传文献

对不起，您需要登录才可以上传文件。
进入登录页面
5小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

15:56:43 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

15:56:42 科研通AI机器人（美国洛杉矶）收到请求，开始寻找文献

15:56:42 已向机器人发送请求
5小时前

Tao 求助人 Lv4 发起了本次求助

祝大家在新的一年里科研腾飞

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 严好香发布了新的文献求助30

刚刚; TTK驳回了可爱的函函的应助

1秒前; 勤奋的晓晓上传了应助文件

4秒前; Rui完成签到，获得积分10

6秒前; 梦想飞翔完成签到，获得积分20

7秒前; 很6的森哥完成签到，获得积分10

8秒前; 科研通AI2S的应助被毫无头绪的豆沙包采纳，获得10

8秒前; 安然僧上传了应助文件

9秒前; ding上传了应助文件

9秒前; 彦祖i学术完成签到，获得积分10

11秒前; yqb的应助被和谐的曼云采纳，获得160

12秒前; 六初完成签到，获得积分10

12秒前; 隐形曼青上传了应助文件

14秒前; JamesPei的应助被梦想飞翔采纳，获得10

15秒前; NiceSunnyDay发布了新的文献求助10

16秒前; wanci上传了应助文件

16秒前; 丘比特上传了应助文件

17秒前; 堆起的石头完成签到，获得积分10

18秒前; LChen发布了新的文献求助10

18秒前; 所所上传了应助文件

20秒前; 刘明生发布了新的文献求助10

20秒前; 友好寻真发布了新的文献求助10

21秒前; 天天快乐的应助被rare采纳，获得10

22秒前; 毫无头绪的豆沙包发布了新的文献求助10

22秒前; Evooolet发布了新的文献求助10

24秒前; LIU0809关注了科研通微信公众号

26秒前; orixero上传了应助文件

27秒前; 共享精神的应助被菜吃饭采纳，获得10

27秒前; 思源上传了应助文件

27秒前; pluvia完成签到，获得积分10

28秒前; 我是老大的应助被追梦小帅采纳，获得10

29秒前; 火星上的菲鹰上传了应助文件

29秒前; Ava的应助被JSY采纳，获得10

30秒前; Evooolet完成签到，获得积分10

31秒前; 希望天下0贩的0的应助被负责的方盒采纳，获得10

31秒前; 小刘马发布了新的文献求助10

32秒前; 111发布了新的文献求助10

32秒前; 领导范儿的应助被迅速文龙采纳，获得10

33秒前; 不钓鱼的应助被就是一种水稻的采纳，获得10

35秒前; chenting完成签到，获得积分10

35秒前