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 Impact of Ar plasma bombardment on the composition and surface roughness of GaAs wafer Ar等离子体轰击对GaAs晶片成分和表面粗糙度的影响
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Lei Zhu; Ye Li; Chunxue Ji; Xiaoling Chen; Yidi Bao; et al 出版日期：2024-10-16 |
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