Spin-on organic hardmask for topo-patterned substrate

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标题	Spin-on organic hardmask for topo-patterned substrate 用于拓扑图案化衬底的旋涂有机硬掩模相关领域化学机械平面化材料科学旋涂基质（水族馆）化学气相沉积光刻胶光电子学纳米技术光刻薄膜图层（电子）海洋学地质学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2046357
DOI	10.1117/12.2046357 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Kazuhiko Komura; Yoshi Hishiro; Goji Wakamatsu; Yoshio Takimoto; Tomoki Nagai; et al 出版日期：2014-03-27
求助人	雪白的人雄在 2024-12-17 09:01:26 发布自辽宁，悬赏 20 积分
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