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 Fundamentals of thin film depth profiling by glow discharge optical emission spectroscopy 辉光放电光谱薄膜深度剖面的基础
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Alenka Vesel; Rok Zaplotnik; Gregor Primc; Miran Mozetič 出版日期：2023-06-08 |
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