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标题
Room-temperature deposition of a poling-free ferroelectric AlScN film by reactive sputtering
反应溅射室温沉积无极化AlScN铁电薄膜
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网址
https://doi.org/10.1063/5.0035335
DOI
10.1063/5.0035335 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：Sung-Lin Tsai; Takuya Hoshii; Hitoshi Wakabayashi; Kazuo Tsutsui; Tien‐Kan Chung; et al
出版日期：2021-02-22
求助人
Sean 在 2024-12-16 11:05:27 发布自河北，悬赏 10 积分
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