Study the effect of chamber size on inductively coupled plasma parameters

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标题	Study the effect of chamber size on inductively coupled plasma parameters 腔室尺寸对电感耦合等离子体参数影响的研究相关领域感应耦合等离子体等离子体化学材料科学物理核物理学
网址	https://doi.org/10.1063/5.0182048
DOI	10.1063/5.0182048 doi
其它	期刊：AIP conference proceedings 作者：Hawraa H. Marza; Thamir H. Khalaf 出版日期：2023-01-01
求助人	笨笨的仙人掌在 2024-12-24 15:45:08 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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