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标题
Passivation of poly-Si surface using vinyl and epoxy group additives for selective Si3N4 etching in H3PO4 solution
用乙烯基和环氧基添加剂钝化多晶硅表面，用于在H3PO4溶液中选择性蚀刻Si3N4
相关领域
材料科学 环氧树脂 钝化 化学工程 高分子化学 硅氧烷 硅 蚀刻（微加工） 润湿 表面改性 环氧氯丙烷 溶解 复合材料 聚合物 图层（电子） 工程类 冶金
网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2022.155143
DOI
10.1016/j.apsusc.2022.155143 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Taegun Park; Taehyeon Kim; Changjin Son; Sangwoo Lim
出版日期：2022-10-04
求助人
舒心易烟 在 2024-12-27 12:17:26 发布自上海，悬赏 10 积分
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