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 Low temperature growth of In2O3 films via pulsed laser deposition with oxygen plasma 氧等离子体脉冲激光沉积低温生长In2O3薄膜
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Chengyu Pan; Katsuhiko Saito; Tooru Tanaka; Qixin Guo 出版日期：2021-05-01 |
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