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Nucleation growth mechanism of diamond on 4H-SiC substrate by microwave plasma chemical vapor deposition
微波等离子体化学气相沉积金刚石在4H-SiC衬底上的成核生长机理
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期刊:Materials today communications 作者:Xiufei Hu; Yan Peng; Xiwei Wang; Xiaotong Han; Bin Li; et al 出版日期:2022-06-01 |
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