Centimeter-Scale Free-Standing Flexible 3C-SiC Films by Laser Chemical Vapor Deposition

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标题	Centimeter-Scale Free-Standing Flexible 3C-SiC Films by Laser Chemical Vapor Deposition 激光化学气相沉积厘米级独立柔性3C-SiC薄膜相关领域材料科学化学气相沉积激光器薄膜化学沉积比例（比率）沉积（地质）光电子学纳米技术化学工程光学古生物学物理工程类量子力学沉积物生物
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfin.2024.105303
DOI	10.1016/j.surfin.2024.105303 doi
其它	期刊：Surfaces and Interfaces 作者：Song Zhang; M. Jin; Chitengfei Zhang; Qingfang Xu; Rong Tu 出版日期：2024-10-01
求助人	hh 在 2024-11-25 16:30:26 发布自湖北，悬赏 10 积分
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