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Centimeter-Scale Free-Standing Flexible 3C-SiC Films by Laser Chemical Vapor Deposition

材料科学 化学气相沉积 激光器 薄膜 化学沉积 比例（比率） 沉积（地质） 光电子学 纳米技术 化学工程 光学 古生物学 物理 工程类 量子力学 沉积物 生物
作者
Song Zhang,M. Jin,Chitengfei Zhang,Qingfang Xu,Rong Tu
出处
期刊：Surfaces and Interfaces [Elsevier]
日期：2024-10-01 卷期号：: 105303-105303
标识
DOI：10.1016/j.surfin.2024.105303
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