Practical silicon deposition rules derived from silane monitoring during plasma-enhanced chemical vapor deposition

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标题	Practical silicon deposition rules derived from silane monitoring during plasma-enhanced chemical vapor deposition 等离子体增强化学气相沉积过程中硅烷监测得出的实用硅沉积规则相关领域硅烷化学化学气相沉积薄脆饼分析化学（期刊）沉积（地质）等离子体体积流量等离子体增强化学气相沉积硅材料科学纳米技术机械生物物理古生物学量子力学有机化学色谱法沉积物
网址	https://doi.org/10.1063/1.4921696
DOI	10.1063/1.4921696 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：R. Bartlomé; Stefaan De Wolf; Bénédicte Demaurex; Christophe Ballif; E. Amanatides; et al 出版日期：2015-05-28
求助人	的说海底捞在 2024-10-17 15:23:30 发布自河南，悬赏 10 积分
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