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标题
Introducing Y2O3 passivation layer for utilizing TiSiN electrode on ZrO2-based metal-insulator-metal capacitor applications
介绍用于在ZrO2基金属-绝缘体-金属电容器应用上利用TiSiN电极的Y2O3钝化层
相关领域
钝化 金属绝缘体金属 电容器 材料科学 金属 绝缘体（电） 电极 图层（电子） 光电子学 纳米技术 电气工程 冶金 化学 电压 工程类 物理化学
网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.161267
DOI
10.1016/j.apsusc.2024.161267 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Jonghwan Jeong; Aejin Lee; Jusang Park; Woojin Jeon
出版日期：2024-09-01
求助人
弯弯月亮 在 2024-10-17 14:23:15 发布自湖北，悬赏 10 积分
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