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 Introducing Y2O3 passivation layer for utilizing TiSiN electrode on ZrO2-based metal-insulator-metal capacitor applications 介绍用于在ZrO2基金属-绝缘体-金属电容器应用上利用TiSiN电极的Y2O3钝化层
相关领域
钝化
金属绝缘体金属
电容器
材料科学
金属
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期刊：Applied Surface Science 作者：Jonghwan Jeong; Aejin Lee; Jusang Park; Woojin Jeon 出版日期：2024-09-01 |
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