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Ba0.5Sr0.5T iO3 Thin film-Based Switchable High Overtone Bulk Acoustic Resonator on High Resistive Silicon
高阻硅上Ba0.5Sr 0.5 T IO3薄膜基可切换高泛音体声谐振器
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期刊:2024 IEEE Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium (UFFC-JS) 作者:Shivakumar Chedurupalli; Akhil Raman T S; Sandeep K; James Raju K C 出版日期:2024-12-19 |
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