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标题
[高分] Study of electrical properties of Al/Si3N4/n-GaAs MIS capacitors deposited at low and high frequency PECVD
低频和高频PECVD沉积Al/Si3N4/n-GaAs MIS电容器的电学性能研究
相关领域
等离子体增强化学气相沉积 钝化 材料科学 氮化硅 光电子学 硅 退火（玻璃） 电子工程 分析化学（期刊） 纳米技术 化学 复合材料 图层（电子） 色谱法 工程类
网址
https://doi.org/10.1051/epjap/2022220062
AI链接 hal.sciencedoi.org
DOI
10.1051/epjap/2022220062 doi
其它 期刊：The European Physical Journal Applied Physics
作者：Wafaa Zibar; Olivier Richard; Asmaa Drighil; T. Lachhab; Hasna Mziouek; et al
出版日期：2022-01-01
求助人
缥缈的铅笔 在 2025-01-08 10:14:19 发布自江苏，悬赏 50 积分
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