| 标题 |
 In vacuo investigations on the nucleation of TaCN by plasma enhanced atomic layer deposition 等离子体增强原子层沉积TaCN成核的真空研究
相关领域
X射线光电子能谱
成核
钽
氮化钽
原子层沉积
基质（水族馆）
材料科学
图层（电子）
碳化钽
氧化物
吸附
化学工程
分析化学（期刊）
沉积（地质）
碳化物
纳米技术
化学
物理化学
冶金
有机化学
古生物学
工程类
地质学
海洋学
生物
沉积物
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Microelectronic Engineering 作者：Johanna Reif; Martin Knaut; Sebastian Killge; Matthias Albert; Johann W. Bartha 出版日期：2019-03-18 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
嗯哼
张三坟
热心市民小红花
坚强的广山
pluto
yufanhui
自然的白竹
Yuxiao
rosalieshi
Yziii
paparazzi221
午见千山
爆米花
shinysparrow
tuanheqi
薰硝壤
面向杂志编论文
Singularity
敬老院N号
stuffmatter
皖公网安备34019202002308
