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 Initial Reactions in Chemical Vapor Deposition of Ta2O5from TaCl5and H2O. An Ab Initio Study TaCl5和H2O化学气相沉积Ta2O5的初始反应。从头开始研究
相关领域
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化学气相沉积
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化学
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化学反应
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期刊：The Journal of Physical Chemistry A 作者：Magdalena Siódmiak; Gernot Frenking; Anatoli Korkin 出版日期：2000-01-25 |
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