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  Modeling and simulation of coverage and film properties in deposition process on large-scale pattern using statistical ensemble method 基于统计集成方法的大尺度图案沉积过程覆盖和薄膜特性建模与仿真
相关领域
沉积（地质）
停留时间（流体动力学）
比例（比率）
化学气相沉积
材料科学
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化学
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沉积物
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期刊：Japanese journal of applied physics 作者：Nobuyuki Kuboi; Hiroyasu Matsugai; Tetsuya Tatsumi; Shōji Kobayashi; Yoshiya Hagimoto; et al 出版日期：2023-03-27 |
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