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 First Monolithic Integration of 3D Complementary FET (CFET) on 300mm Wafers 三维互补场效应晶体管（CFET）在300mm晶片上的首次单片集成
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期刊：2020 IEEE Symposium on VLSI Technology 作者：S. Subramanian; M. Hosseini; T. Chiarella; S. Sarkar; P. Schuddinck; et al 出版日期：2020-12-03 |
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