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 Fast and high resolution thermal detector based on an aluminum nitride piezoelectric microelectromechanical resonator with an integrated suspended heat absorbing element 基于集成悬浮吸热元件的氮化铝压电微机电谐振器的快速高分辨率热探测器
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Yu Huang; Matteo Rinaldi 出版日期：2013-03-04 |
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