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 Effects of nitrogen composition on the resistivity of reactively sputtered TaN thin films 氮组分对反应溅射TaN薄膜电阻率的影响
相关领域
电阻率和电导率
氮气
作文（语言）
材料科学
薄膜
分析化学（期刊）
化学
纳米技术
环境化学
物理
艺术
有机化学
文学类
量子力学
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| 其它 |
期刊：Surface and Interface Analysis 作者：Nishat Arshi; Junqing Lu; Yun Kon Joo; Jae Hong Yoon; Bon Heun Koo 出版日期：2014-11-18 |
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