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High-efficiency thermo-optic control of longitudinal radiation angle in silicon-based optical phased array by leveraging backside air trench structure
利用背面空气沟槽结构对硅基光学相控阵纵向辐射角的高效热光控制
相关领域
光学
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期刊:Optics Letters 作者:Junhyeong Kim; Youngjin Lee; Jae‐Yong Kim; Jinhyeong Yoon; Hyeonho Yoon; et al 出版日期:2024-07-24 |
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