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Noninvasive, real-time measurements of plasma parameters via optical emission spectroscopy
通过光发射光谱法对等离子体参数进行无创实时测量
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者:Shicong Wang; A. Wendt; John B. Boffard; Chun C. Lin; Svetlana Radovanov; et al 出版日期:2013-02-22 |
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