标题 |
Gate dielectric formation and MIS interface characterization on Ge
Ge栅介质形成及MIS界面表征
相关领域
接口(物质)
材料科学
电介质
表征(材料科学)
光电子学
锗
渗氮
纳米技术
图层(电子)
硅
复合材料
毛细管数
毛细管作用
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DOI | |
其它 |
期刊:Microelectronic engineering 作者:Shinichi Takagi; Tatsuro Maeda; Noriyuki Taoka; Masatoyo Nishizawa; Yukinori Morita; et al 出版日期:2007-09-01 |
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