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 A Multiscale Attention Mechanism Super-Resolution Confocal Microscopy for Wafer Defect Detection 用于晶圆缺陷检测的多尺度注意机制超分辨共焦显微镜
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期刊：IEEE transactions on automation science and engineering 作者：Xue-Feng Sun; Baoyuan Zhang; Yushan Wang; Jianning Mai; Yuhang Wang; et al 出版日期：2024-01-01 |
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