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 An Investigation of the Structural and Surface Topography of Aluminum Nitride Thin Films Deposited at Low Sputtering Power for Piezoelectric Applications Published: 25 June 2024 用于压电应用的低溅射功率沉积的氮化铝薄膜的结构和表面形貌研究发布日期：2024年6月25日
相关领域
溅射
材料科学
氮化物
压电
薄膜
光电子学
铝
功率（物理）
氮化铝
工程物理
纳米技术
复合材料
图层（电子）
物理
量子力学
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