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[高分]
 MEMS Surface Acoustic Wave Resonator Based on AlN/Si/Fe-Co-Si-B Structure for Magnetic Field Sensing 用于磁场传感的AlN/Si/Fe-Co-Si-B结构MEMS声表面波谐振器
相关领域
谐振器
材料科学
磁场
磁致伸缩
小型化
微电子机械系统
光电子学
灵敏度（控制系统）
电气工程
声学
电子工程
工程类
物理
纳米技术
量子力学
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