Investigation of the Microstructure, Optical, Electrical and Nanomechanical Properties of ZnOx Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering

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标题	Investigation of the Microstructure, Optical, Electrical and Nanomechanical Properties of ZnOx Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering 磁控溅射ZnOx薄膜的微结构、光学、电学及纳米力学性能研究相关领域材料科学纳米晶材料微观结构薄膜微晶溅射沉积电介质复合材料溅射冶金光电子学纳米技术
网址	https://www.mdpi.com/1996-1944/15/19/6551/pdf?version=166390...
DOI	10.3390/ma15196551 doi
其它	期刊：Materials 作者：M. Mazur; Agata Obstarczyk; Witold Posadowski; J. Domaradzki; Szymon Kiełczawa; et al 出版日期：2022-09-21
求助人	John 在 2023-09-24 22:21:41 发布自丹麦，悬赏 10 积分
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