具有亚纳米级侧壁粗糙度的Cl2–Ar等离子体中GaN微观结构的ICP蚀刻

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标题	具有亚纳米级侧壁粗糙度的Cl2–Ar等离子体中GaN微观结构的ICP蚀刻相关领域材料科学刻面表面粗糙度基质（水族馆）表面光洁度微观结构蚀刻（微加工）外延各向同性腐蚀等离子体光电子学等离子体刻蚀腐蚀坑密度复合材料
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2022.106564
DOI	10.1016/j.mssp.2022.106564 doi
求助人	戚魂幽在 2022-07-15 14:37:02 发布自江苏，悬赏 10 积分
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