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标题
Laser produced plasma EUV sources for HVM 7nm node lithography: progress in availability and prospects of power scaling
相关领域
极紫外光刻 光电子学 材料科学 激光器 功率（物理） 平版印刷术 等离子体 极端紫外线 临界尺寸
网址
https://doi.org/10.1117/12.2515017
DOI
10.1117/12.2515017 doi
其它 期刊：Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography X
作者：Igor V. Fomenkov; Nelson M. Felix; Kenneth A. Goldberg
出版日期：2019
求助人
ABA 在 2022-07-31 00:45:46 发布自浙江，悬赏 10 积分
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